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大面积薄膜制备技术及新型镀膜玻璃的研究
【机构】 浙江大学材料系硅材料国家重点实验室；
【摘要】 本文在简要介绍国内外薄膜制备技术现状与发展的基础上,重点介绍了新型镀膜玻璃的薄膜制备技术,特别是利用浮法玻璃生产线在线连续制备大面积、均匀玻璃的化学气相沉积技术。研究了薄膜制备工艺如制备温度、反应气体组成、反应时间等对薄膜的结构、组成、性能的影响规律,解决了纳米符合薄膜的设计、制备、性能协同优化、互补及新效应等理论和实践问题,成功地获得了具有良好节能效果的新型阳光控制镀膜玻璃和低辐射镀膜玻璃。
- 【会议录名称】 中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集
- 【会议名称】中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
- 【会议时间】2004-11
- 【会议地点】中国杭州
- 【分类号】TQ171
- 【主办单位】中国真空学会