辉光放电清洗前后表面放气的质谱分析

【作者】 黄天斌； 陈旭； 金奇计； 曾鹏； 查良镇；

【机构】 清华大学电子工程系；

【摘要】 本论文介绍了在辉光放电清洗的研究过程中,应用质谱技术进行样品分析的过程和对真空性能进行测试的一系列实验结果,并应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估。实验结果表明,质谱技术能给予表面吸附气体细致的分析,氦气可以轰击去除以及置换出样品吸附的气体,空气中占绝大部分的氮气和氧气在辉光放电清洗后的出气量下降,部分油蒸汽的出气量也下降,有利于超高真空的获得和维持。更多还原