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定容式气体微流量校准装置漏放气性能研究
【机构】 兰州物理研究所；
【摘要】 文章介绍了定容式气体微流量校准装置的组成、工作原理、校准范围以及测量不确定度,详细阐述了流量计定容室的漏放气率的测试过程及测试结果,并给出了静态压力上升速率曲线,并对测试结果进行了分析和讨论。
- 【会议录名称】 真空获得与测量学术交流会论文集
- 【会议名称】真空获得与测量学术交流会
- 【会议时间】2004-07
- 【会议地点】中国宜昌
- 【分类号】TB77
- 【主办单位】中国真空学会真空获得与测量专业委员会