【作者】 王金锁； 许红；

【Author】 Wang Jinsuo Xu Hong(Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology,Shanghai, 200040)

【机构】 上海市计量测试技术研究院；

【摘要】 本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法,通过实验验证了该方法的可行性,并给出了该装置测量范围(10-5-10-7)Pa.m3/s,装置的最佳校准能力小于3.0%(k=2)。更多还原

【Abstract】 In this paper, a method is investigated for calibration of gaseous reference leaks using static expansion vacuum standard and mass spectrometer. The testing data by this method show very good agreement with principle curve. Calibration leak rate of this apparatus is from 10-7Pa. m3/s to 10-5Pa. m3/s. The overall systematic errors are below 3.0%(k=2).更多还原