节点文献
直流磁控溅射沉积含He钛膜
【机构】 复旦大学现代物理研究所；
【摘要】 <正> 功能贮氢(氚)材料的研制及应用及氚衰变产生的氦在材料中的存在行为以及抑制氦释放的材料学机制问题。很明显,通过观察材料中的氚自然衰变过程来研究和评价材料的固氦性能需要很长的时间,并涉及复杂的临氚工艺过程。氦(He)是一种闭合电子亮层结构的原子,一般不与任何元素反应,在合金中的溶解极小(ppm范围)。因此,目前比较常用的方法是采用离子注入、中子辐照等方法进行He的人为引入和分布研究。这类方法获得了较多的应用,
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司