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脉冲磁过滤阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜
【机构】 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室； 沈阳北宇真空设备厂；
【摘要】 <正> 利用脉冲磁过滤阴极弧制备的非晶碳膜有许多优良的性能,如高硬度与高弹性模量、生物相容性好、高禁带宽度、高热稳定性以及良好的场致发光能力等,在诸多领域都获得广泛的应用。我们采用自行研制的脉冲磁过滤阴极弧系统,成功的在单晶硅(100)和不锈钢基片上制备出了四面体非晶碳膜(tetrahedral amorphous carbon即ta-C),
【基金】 国家863计划(2001AA338010)资助项目
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司