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脉冲电弧蒸发源的研究
【作者】 严一心； 朱昌； 杭凌侠； 弥谦； 蔡长龙； 徐均琪； 吴玲玲；
【机构】 西安工业学院；
【摘要】 <正> 本文介绍西安工业学院“离子束”课题组研制的脉冲电弧蒸发源及其应用。脉冲电弧蒸发源是脉冲真空电弧离子镀设备的关键装置。它由阴极、阳极、起弧电极组成,阴极由被蒸发的材料制成,其工作原理基于冷阴极真空电弧放电,阴极材料蒸发并电离,形成等离子体,这些等离子体一方面在基片(工件)上形成镀层,另一方面维持着电弧放电。利用起弧电极之间的沿面放电来引弧,方法简单、引弧效率高(95%以上)。研制的脉冲电弧蒸发源结构简单、性能良好,主
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司