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关于霍尔离子源的几个问题
【机构】 中国科学院空间科学应用研究中心；
【摘要】 <正> 等离子体离子束的辅助镀膜作用主要是:(1)它可以代替镀膜热烘烤,而仍然具有较强的薄膜结合力;(2)在辅助镀膜工业上应用的是一种端部霍尔电流加速器,其工作原理是在灯丝与阳极之间产生放电,形成等离子体。本文将深入讨论以上诸问题,目的在于改进霍尔源的设计,实现宽能、大束流、低气耗、低
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司