Ti掺杂类金刚石碳膜的结构与性能的研究

【作者】 柳翠； 李国卿； 牟宗信； 张成武； 关秉羽；

【机构】 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室； 沈阳北宇真空设备厂；

【摘要】 <正> 类金刚石碳膜(diamond-like carbon films,简称DLC膜)是一系列含有sp~2、sp~3碳碳杂化键的非晶碳膜的总称。DLC膜具有很多类似金刚石的性质,如高硬度、低摩擦系数、高耐磨性、化学稳定性、耐蚀性、导热性、电绝缘性、光学透过性和生物相容性等,可广泛用于机械、电子、光学、化工和生物等领域。DLC膜作为硬质合金刀具工具、精密零件的自润滑膜、磁介质保护膜、光学增透膜、电子元件的保护膜、高保真扬声器振膜和生物体保护膜等方面具有广阔的应用前景。更多还原