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Ti掺杂类金刚石碳膜的结构与性能的研究

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【作者】 柳翠李国卿牟宗信张成武关秉羽

【机构】 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室沈阳北宇真空设备厂

【摘要】 <正> 类金刚石碳膜(diamond-like carbon films,简称DLC膜)是一系列含有sp~2、sp~3碳碳杂化键的非晶碳膜的总称。DLC膜具有很多类似金刚石的性质,如高硬度、低摩擦系数、高耐磨性、化学稳定性、耐蚀性、导热性、电绝缘性、光学透过性和生物相容性等,可广泛用于机械、电子、光学、化工和生物等领域。DLC膜作为硬质合金刀具工具、精密零件的自润滑膜、磁介质保护膜、光学增透膜、电子元件的保护膜、高保真扬声器振膜和生物体保护膜等方面具有广阔的应用前景。

【关键词】 磁控溅射类金刚石碳膜金属掺杂
【基金】 国家863计划(2001AA338010)资助项目
  • 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
  • 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
  • 【会议时间】2003-09
  • 【会议地点】中国浙江宁波
  • 【分类号】TB43
  • 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司
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