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类金刚石膜的应用和发展
【机构】 航天科工集团三院8358所；
【摘要】 <正> 一、概述类金刚石(DLC)膜最早在1970年由Aisenberg利用离于束溅射碳靶制备成功的。在随后很短几年内,由Holland和Ohja利用射频等离子放电化学气相沉积工艺也制备出来DLC膜。从此以后,出现了利用各种工艺方法制备DLC材料的报导。但能够商业化的最成功工艺只有离子束溅射工艺和射频等离子放电化学气相沉积工艺。当今,所指的DLC是描述那些含有氢键的无定形碳,且据有金刚
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司