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ZnO低压压敏薄膜制备与研究
【机构】 华东理工大学物理系；
【摘要】 <正> ZnO低压压敏电阻是一种新型多功能性陶瓷材料,具有非线性系数高,响应时间快,漏电流小,通流容量大等优点,广泛应用于电子设备、电力系统等领域,主要作为半导体器件的过压保护。随着电子产品的微型化、集成化,工作电压愈来愈低,对低压压敏电阻的需求量亦愈来愈大。研制开发ZnO低压压敏薄膜具有十分广阔的市场前景。
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司