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溶胶凝胶法制备禁带宽度可调的MgxZn1-xO薄膜
【作者】 季振国； 宋永梁； 向因； 刘坤； 王超； 叶志镇；
【机构】 浙江大学硅材料国家重点实验室；
【摘要】 <正> 氧化锌具有较大的激子束缚能（～60mev）,可实现室温下的紫外受激辐射,是一种很有前途的紫外光电于器件材料,极具开发和应用价值。要实现高性能的紫外发光器件,异质结的制备是关键问题之一。MgxZn（1-x）O是一种禁带宽度可调氧化锌基材料,与ZnO的晶格常数相差很小。因此,利用MgxZn1-xO可实现高质量的ZnO/MgxZn1-xO异质结和量子阱结构。本文用溶胶凝胶法制备了MgxZn（1-x）O薄膜。
【基金】 国家基础研究发展规划项目 No.G2000683;国家自然科学基金 No.90201038
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司