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RE—GMM功能薄膜的制备及性能研究
【机构】 福州大学材料科学与工程学院；
【摘要】 <正> 稀土超磁致伸缩材料(RE—GMM)是一种新发展的高技术功能材料;而RE—GMM非晶薄膜则是国外90年代后才开始进行研制的一种新型功能薄膜材料,它与其体材料相比,具有许多优点,特别是在器件微型化和非晶材料独特的磁性方面;其应用技术研究国外从90年代中期开始,几年内已设计开发出多种元器件。目前,国内外主要采用磁控溅射的方法制备RE—GMM薄膜,此次研
【基金】 福建省科委高新技术与火炬项目(99—H—44);福州大学科技发展基金(XKJ(QD)-01/3);福建省高校测试基金
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司