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Mn掺杂BaTiO3薄膜的制备和光学性能研究
【机构】 河南大学物理与信息光电子学院；
【摘要】 <正> 本文报道采用溶胶凝胶技术制备不同浓度Mn掺杂的BaTiO3薄膜,并对薄膜的结构和光学性质进行研究。前驱体溶液的制备以醋酸钡、醋酸锰和钛酸丁酯为原料,以冰醋酸为溶剂。在溶石英和Si衬底上采用旋转涂膜法将前驱体溶液涂覆在衬底表面,薄膜的热处理在快速退火炉中进行。为了防止快速退火过程中由于升温过快导致的薄膜中溶剂蒸发、有机物受热分解和薄膜晶化同时发生,从而使得薄膜结构疏松、易于开裂,热处理过程采用三段热处理工艺,将薄膜的溶
【基金】 河南省杰出青年科学基金
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司