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强脉冲束流材料表面改性
【作者】 董闯； 郝胜智； 梅显秀； 王晓刚； 吴爱民； 秦颖； 邹建新； 高波； 关庆丰；
【机构】 吉林大学超硬材料国家重点实验室材料科学与工程学院； 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室；
【摘要】 <正> 强脉冲束流是一类新兴的表面改性处理技术,与传统高能量束比较具有瞬时能量更高（可达109W/mm2）、作用时间短(10-6～10-9s)、可控性高、改性层深等优点,瞬态能量沉积所引发的快速熔凝及蒸发、热击波、能量膨胀、增强扩散等效应为其处理后的表面赋予新的特性和功能。这类技术的典型代表是强流脉冲电子束（HCPEB）和强流脉冲离子束（HIPIB）,本文介绍这两类设备的工作原理、脉冲束
- 【会议录名称】 TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’03全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2003-09
- 【会议地点】中国浙江宁波
- 【分类号】TG174
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司