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扫描力显微镜观察铁电畴的成像模式对比
【机构】 电子科技大学微电子与固体电子学院；
【摘要】 <正> 在纳米尺度铁电畴的研究中扫描力显微镜(SFM)已经成为一种主要的手段。其中,运用较广泛的成像模式主要有三种:电力显微镜(EFM)、压电力显微镜(PFM)、非线件介电显微镜(Scanning Nonlinear Dielecric Microscopy,SNDM)。本文对以上三种模式的原理和特点进行对比分析。
- 【会议录名称】 2003年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集
- 【会议名称】2003年纳米和表面科学与技术全国会议
- 【会议时间】2003-03
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TH742
- 【主办单位】中国真空学会纳米与表面科学专委会、中科院物理所纳米物理与器件实验室