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用四极质谱计定性分析残气成分的变化

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【作者】 张兆祥张耿民赵兴钰张浩薛增泉

【机构】 北京大学电子学系

【摘要】 <正>当前质谱技术的发展显示出四极质谱计越来越受到广泛的重视,四极质谱计的应用数量已占据质谱仪器的绝大部分。这是由于四极质谱计具有体积小、重量轻、不需要磁场、价格便宜、操作方便等一系列优点。四极质谱计给出的原始数据是所分析成分的质荷比(m/e),对于分析残气成分用的四极质谱计达到200~300相对分辨本领就能满足一般实验要求了。四极质谱计给出质谱数据后,要通过质谱数据分析解释残气成分,首先定性分析,在定性分析基础上才能进行定量分析,而定量分析不是一件容易的事。本文仅就定性分析的有关问题进行分析和讨论。

  • 【会议录名称】 中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第六届年会论文摘要集
  • 【会议名称】中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第六届年会
  • 【会议时间】2002-11
  • 【会议地点】中国广西桂林
  • 【分类号】TH843
  • 【主办单位】中国真空学会质谱与检漏专委会、中国计量测试学会真空计量专委会
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