节点文献
纳米定位平台—基于“碰撞驱动法”
【机构】 中国科学院沈阳自动化研究所；
【摘要】 <正> 纳米技术(纳米尺度:1-102mm)是21世纪全球重大的高技术。纳米定位平台是微LSI制造、MEMS制造、超精密加工和生物工程等领域高度发展的难题。高精度定位平台为实现纳米位移,国际学术界提出很多新思想、新方法。有“振动驱动法”、“尺蠖驱动法”以及“冲击驱动法”。中科院沈阳自动化研究所经过理论和试验研究,提出“碰撞驱动法”。
- 【会议录名称】 2001年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集
- 【会议名称】2001年纳米和表面科学与技术全国会议
- 【会议时间】2001-05
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TH706
- 【主办单位】中国真空学会表面与纳米科学与技术专业委员会、中国科学院物理研究所北京真空物理开放实验室