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用模板法制备取向Si纳米线阵列
【机构】 兰州大学化学系；
【摘要】 <正> 硅是半导体材料领域应用最广泛的材料,随着碳纳米管(carbon nanotubes,CNTs)制备技术及物理化学性质研究的进一步深入,硅纳米线(silicon nanowires,SiNWs)的研究也开始受到人们的重视,实现硅纳米线特别是取向硅纳米线阵列的制备,可使人们继续利用现有的大规模集成电路材料和生产技术,开发制备出一维高效量子器件和高效发光阵列器件及各种新型的电学和光学传感器.
- 【会议录名称】 2001年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集
- 【会议名称】2001年纳米和表面科学与技术全国会议
- 【会议时间】2001-05
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TN304
- 【主办单位】中国真空学会表面与纳米科学与技术专业委员会、中国科学院物理研究所北京真空物理开放实验室