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上置偏压热丝CVD制备纳米金刚石涂层
【作者】 黄钢； 何贤昶； 张志明； 万永中； 戴永兵； 沈荷生；
【机构】 上海交通大学微电子研究所；
【摘要】 <正> 纳米金刚石涂层在具有金刚石优异的物理和化学性质的同时,具有表面光滑、平整的特性。其表面不平整度可控制在10纳米以内。金刚石薄膜在减磨和研磨材料、光学器件表面涂层、电化学电极、薄膜微传感器等领域中的应用。
- 【会议录名称】 2001年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集
- 【会议名称】2001年纳米和表面科学与技术全国会议
- 【会议时间】2001-05
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会表面与纳米科学与技术专业委员会、中国科学院物理研究所北京真空物理开放实验室