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MOCVD水解法制备TiO2薄膜的动力学研究
【机构】 上海交通大学分析测试中心； 上海交通大学教育部高温材料及高温测试开放实验室； 太原理工大学化学工程与技术学院；
【摘要】 <正> 二氧化钛(特别是锐钛矿型TiO2)以其优良的光催化性能、无毒和长期稳定性得到各国研究者的青睐。薄膜TiO2将原有TiO2纳米粉末固定化,并保持了原有的尺寸效应,有相当的研究价值。本文利用LPCVD法水解四异丙醇钛(TTIP),以普通玻璃和单晶Si为基片,研究了制备过程中水解TTIP的反应动力学。通过基片温度和沉积率的关系,计算出TTIP水解反应的表观活化能等于59.85kJ/mol。
- 【会议录名称】 2001年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集
- 【会议名称】2001年纳米和表面科学与技术全国会议
- 【会议时间】2001-05
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】O484
- 【主办单位】中国真空学会表面与纳米科学与技术专业委员会、中国科学院物理研究所北京真空物理开放实验室