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羰基金属及其衍生物为源的化学气相沉积法制超细金属系列物
【机构】 中国科学院兰州化学物理研究所；
【摘要】 <正> 如所周知,元素周期表中过渡金属大多可以在适当条件下转化为羰基化合物.而羰基化合物则可以直接作为化学气相沉积的源,也可由羰基化合物衍生为其它金属有机化合物而作为化学气相沉积的源,用以生产具有高硬度、抗氧化、抗腐蚀、抗磨损等性能的超细金属、金属氧化物、金属氮化物或金属碳化物以及相应膜材料.超细金属在微电子工业的导电界面、欧姆触点、电子迁移和抗扩散等方面:金
- 【会议录名称】 2001年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集
- 【会议名称】2001年纳米和表面科学与技术全国会议
- 【会议时间】2001-05
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】O627
- 【主办单位】中国真空学会表面与纳米科学与技术专业委员会、中国科学院物理研究所北京真空物理开放实验室