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卤素校准漏孔的校准方法探讨

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【作者】 孟宪华杨雪梅

【机构】 上海市计量测试技术研究院

【摘要】 本文介绍了卤素漏孔漏率检测的一种新方法—称量法,再配合传统的定容升压法,可以简便、准确地检测出卤素漏孔在不同的卤素气体充气压力下的漏率。实验数据表明这种方法测出的漏率与充气压力的曲线、与厂家提供的数据很吻合。

  • 【会议录名称】 中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会及中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会论文(摘要)集
  • 【会议名称】中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会及中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会
  • 【会议时间】2001-04
  • 【会议地点】中国江苏无锡
  • 【分类号】TB774
  • 【主办单位】中国真空学会质谱与检漏专委会、中国计量测试学会真空校准专委会
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