节点文献
SMIF/微环境中气流的数值模拟
Numerical Airflow Simulation in SMIF/Minienvironment
【机构】 同济大学热能工程系；
【摘要】 SMIF/环境是应IC产品集成度不断提高而发展起来的新技术。由于其工艺复杂,造价昂贵,所以在设计时有必要对其运行性能加以预测。本文运用CFD技术预测其内部气流流场,为SMIF装置的设制造及运行提供理论依据。
- 【会议录名称】 全国暖通空调制冷2002年学术年会论文集
- 【会议名称】全国暖通空调制冷2002年学术年会
- 【会议时间】2002
- 【分类号】TU831
- 【主办单位】中国建筑学会暖通空调专业委员会、中国制冷学会第五专业委员会