【作者】 邓扬明； 李德胜；

【Author】 Deng Yangming Li Desheng(College of Mechanical Engineering and Applied Electronics Technogogy, Beijing Uniersity of Technology, Beijing 100022, China)

【机构】 北京工业大学机械工程与应用电子学院；

【摘要】 研究了结合多层光刻胶工艺和金属牺牲层法制作微型传动齿轮的加工工艺,并给出了部分实验结果。更多还原

【Abstract】 A kind of micro movable gear is fabricated by using multilayers’ photoresist technology and metal sacrificial layer technololgy. Some experiment results are presented.更多还原