【作者】 曾雪锋； 岳瑞峰； 吴建刚； 胡欢； 董良； 刘理天；

【Author】 Zeng Xuefeng Yue Ruifeng Wu Jiangang Hu Huan Dong Liang Liu Litian(Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)

【机构】 清华大学微电子学研究所；

【摘要】 利用ICP-CVD工艺制备出一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜,并给出了制备薄膜的工艺参数。通过观测该薄膜的表面形貌和它与去离子水之间的接触角,结果表明,该薄膜均匀致密,与去离子水之间的接触角高达110°。更多还原

【Abstract】 It puts forward the techniques of depositing hydrophobic thin films of the fluorocarbon polymer by ICP-CVD and the process factors of ICP-CVD. The results of measuring surface characters of films and the contact angle between films and the deionized water show that the thin films of fluorocarbon polymer are uniform and compact, and the contact angle reaches 110°.更多还原