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电容式角位移传感器电场有限元仿真研究
Electric Field Finite Element Simulation for Capacitive Angular Sensor
【Author】 Xu Ying Zhang Tao Li Minxue Yang Bo (Institute of Electrical Automation, Tianjin University, Tianjin 300072, China)
【机构】 天津大学电气自动化学院;
【摘要】 对电容式角位移传感器二维及三维的电场进行了有限元法分析,同时对不同结构参数的敏感元件进行仿真研究,仿真结论与样机实验结果相吻合。
【Abstract】 2D and 3D Electric fields of capacitive angular sensor are analyzed by finite element methodology. Sensors with different dimensions are studied by simulation. The result is proved by the prototypes experiments.
【关键词】 有限元法;
电容式;
角位移传感器;
仿真;
【Key words】 Finite element methodology Capacitive Angular sensor Simulation;
【Key words】 Finite element methodology Capacitive Angular sensor Simulation;
- 【会议录名称】 中国仪器仪表学会学术论文集
- 【会议时间】2004
- 【分类号】TP212