【作者】 曲炳郡； 任天令； 刘华瑞； 刘理天； 库万军； 李志坚；

【Author】 Qu Bingjun Ren Tianling Liu Huarui Liu litian Ku Wanjun Li Zhijian(Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)(Huaxia Mag. Elec, Corp. , Shenzhen 518081, China)

【机构】 清华大学微电子学研究所； 深圳市华夏磁电子公司；

【摘要】 研制了一种传统结构的上钉扎巨磁电阻自旋阀,其结构为:Ta（6nm）/Ni₈₁Fe₁₉（4.5nm）/Co₉₀Fe₁₀（1nm）/Cu（1.8nm）/Co₉₀Fe₁₀（3.5nm）/Ir₂₀Mn₈₀（11nm）/Ta（3nm）。该自旋阀磁电阻变化率大（9.15%）,交换场高（约200Oe）,矫顽力低（0.85Oe）,灵敏度高,且具有良好的热稳定性,加之与IC工艺兼容,因而是一种制作集成磁场传感器的理想结构。更多还原

【Abstract】 A conventional spin valve with top-pinned structure of Ta (6nm)/Ni81Fe19(4. 5nm)/Co90Fe10(lnm)/Cu (1. 8nm)/Co90Fe10(3. 5nm)/Ir20Mn80(llnm)/Ta(3nm)is manufactured by means of a multi-gun magneto sputtering system with ultra-high-vacuum chambers. This spin valve has large magnetoresistance ratio (9. 15%), low coercive force (0, 85Oe) , high exchange field (about 200Oe) , high sensitivity and outstanding thermal stability. Besides, the process of spin valve is compatible with IC’s. Characters mentioned above make this spin valve be capable of application for integrated magnetic sensors.更多还原