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洁净平板光学玻璃表面颗粒的测量

Particle Sizing on the Clean Flat Optical Component

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【作者】 孙国强郑刚申晋庄松林

【Author】 Sun Guoqiang Zheng Gang Shen Jin Zhuang Songlin (University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China)

【机构】 上海理工大学

【摘要】 介绍了一种光学颗粒计数器设计技术的理论和方法,并研制了一套用于颗粒计数的实验装置。经过实验验证,该装置能够对洁具平板光学玻璃上颗粒状杂质的数量和粒径进行检测。试验表明,该装置不仅能够测量大颗粒,而且还能够检测较小的颗粒。

【Abstract】 The particle count technology based on light scattering at different collecting angles is introduced and device is constructed. The experiments verify that this device can detect large particles as well as small particles on the surface of the clean optical component.

【关键词】 颗粒光散射测量
【Key words】 Particle Light scattering Measurement
【基金】 上海市科技发展基金
  • 【会议录名称】 首届信息获取与处理学术会议论文集
  • 【会议名称】首届信息的获取与处理学术会议
  • 【会议时间】2003
  • 【分类号】TQ171
  • 【主办单位】中国仪器仪表学会
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