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光纤F—P干涉传感器进行精密表面粗糙度测量原理探讨
The Discussion of a New Principle about Precision Surface Roughness Measurement by FFPI
【Author】 Su Hansong BaO Zhenwu (Tianjin University,Tianjin 300072)
【机构】 天津大学；
【摘要】 本文在双F—P腔光纤干涉仪测距原理和光纤探针粗糙度测量方法的基础上,提出了光纤F—P干涉传感器的高精度表面粗糙度测量原理。着重探讨了其测试方法。
【Abstract】 The new principle about precision surface roughness measurement by FFPI is put forward based on the principle by fiber dual F-P cavity interferometer for measuring distance and the roughness measurement method with an optical fiber probe. Its measure method is mainly discussed.
【基金】 国家自然科学基金(598750657)
- 【会议录名称】 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（上）
- 【会议名称】中国仪器仪表学会第三届青年学术会议
- 【会议时间】2001-08
- 【会议地点】中国沈阳
- 【分类号】TP212
- 【主办单位】中国仪器仪表学会、沈阳市科协