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并五苯薄膜的性能表征
【机构】 兰州大学物理科学与技术学院微电子研究所；
【摘要】 <正>并五苯(pentacene)是一种有机小分子半导体材料,因其具有较高的迁移率,被广泛应用于场效应晶体管的活动层。我们以热氧化硅片为衬底,用溶液溶解和真空蒸镀两种方法制备有机半导体材料并五苯薄膜。以二氯苯为溶剂溶解并五苯,在60℃时并五苯完全溶解,分别在60℃,100℃,
【基金】 国家自然科学基金(No．60676033)
- 【会议录名称】 第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集
- 【会议名称】第十六届全国半导体物理学术会议
- 【会议时间】2007-09
- 【会议地点】中国甘肃兰州
- 【分类号】O484.4
- 【主办单位】兰州大学、中国物理学会半导体物理专业委员会、中国科学院半导体研究所