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薄膜组合结构在InGaAsP/InP双异质结外延片内引起的光波导的研究
【机构】 北京大学物理学院宽禁带半导体研究中心；
【摘要】 <正>现代许多半导体光电子器件要有能实现对光的侧向限制作用的高质量的波导,利用光弹效应制作的光波导较脊形及掩埋型光波导有工艺简单,平面化的优点。传统的光弹光波导有四种结构,分别是:1) (15微米宽以上的)压应变薄膜窗口结构;2)(15微米宽以上的)张应变薄膜条形结构:3)(几个
【关键词】 光波导；
光弹效应；
双异质结；
组合结构；
InGaAsP/InP；
- 【会议录名称】 第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集
- 【会议名称】第十六届全国半导体物理学术会议
- 【会议时间】2007-09
- 【会议地点】中国甘肃兰州
- 【分类号】O484
- 【主办单位】兰州大学、中国物理学会半导体物理专业委员会、中国科学院半导体研究所