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扫描电镜的试样制备方法及应用

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【作者】 李香庭； 曾毅； 钱伟君； 高建华；

【机构】 中国科学院上海硅酸盐研究所；

【摘要】 <正> 扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题,特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法,制备方法不正确就会出现一些假象。本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因素,例如

  • 【会议录名称】 第十三届全国电子显微学会议论文集
  • 【会议名称】第十三届全国电子显微学会议
  • 【会议时间】2004-08
  • 【会议地点】中国威海
  • 【分类号】TH742
  • 【主办单位】中国物理学会
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