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螯合剂对钛酸钡薄膜表面形貌的影响

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【作者】 李纪标； 施民梅； 杨芙丽； 翟学良；

【机构】 河北师范大学实验中心； 沧州师范专科学校化学系；

【摘要】 <正> 近年来,由于BaTiO3薄膜在动态存储器（DRAM）、薄膜存储器等方面的潜在应用前景而广受青睐。钛酸钡薄膜的制备方法很多,溶胶-凝胶法是其中之一。该法具有化学剂量比可控性好、不需

  • 【会议录名称】 第十三届全国电子显微学会议论文集
  • 【会议名称】第十三届全国电子显微学会议
  • 【会议时间】2004-08
  • 【会议地点】中国威海
  • 【分类号】O484
  • 【主办单位】中国物理学会
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