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一种实验确定微电子器件灵敏体积的方法
A Method for Experimental Determination of the Sensitive Volume Thickness
【作者】 路秀琴; 刘建成; 郭继宇; 张庆祥; 黄治; 张振龙; 郭刚; 沈东军; 惠宁; 倪嵋楠; 孔福全; 韩建伟;
【Author】 LU Xiu-Qin LIU Jian-Cheng GUO Ji-Yu ZHANG Qing-Xiang HUANG Zhi ZHANG Zhen-Long GUO Gang SHEN Dong-Jun HUI Ning NI Mei-Nan KONG Fu-Quan HAN Jian-Wei (China Institute of Atomic Energy, Beijing 102413, China) (Centen for Space Science and Application Reseach, The Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China)
【机构】 中国原子能科学研究院核物理所; 中国科学院空间科学与应用研究中心;
【摘要】 介绍一种实验确定微电子器件单粒子翻转(SEU)灵敏体积(Sv)厚度d的方法.用从低到高不同能量的重离子辐照微电子器件,测量其SEU截面随离子射程的变化曲线σseu(r),用数学计算从σseu(r)和LET(r)函数提取d.利用测得的d和σseu(LET),经过模型计算可得到更精确的空间SEU率的预言值.
【Abstract】 A method of experimental determination of the sensitive volume(Sv)thickness d of microelectronic devices is presented. It is based upon the deconvolution of the functions of heavy ion upset cross sections versus the range of the incidentions σseu(r) , measured by varying the ion energy, and LET (r) . The measured σseu(LET) and d can be used for accurate prediction of the rate of Single Event Effects (SEE) in space.
- 【会议录名称】 第十次全国核结构研讨会论文集
- 【会议名称】第十次全国核结构研讨会
- 【会议时间】2004-07
- 【会议地点】中国贵州花溪
- 【分类号】O571
- 【主办单位】中国核物理学会核结构专业委员会、北京大学、贵州民族学院