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一种实验确定微电子器件灵敏体积的方法

A Method for Experimental Determination of the Sensitive Volume Thickness

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【作者】 路秀琴刘建成郭继宇张庆祥黄治张振龙郭刚沈东军惠宁倪嵋楠孔福全韩建伟

【Author】 LU Xiu-Qin LIU Jian-Cheng GUO Ji-Yu ZHANG Qing-Xiang HUANG Zhi ZHANG Zhen-Long GUO Gang SHEN Dong-Jun HUI Ning NI Mei-Nan KONG Fu-Quan HAN Jian-Wei (China Institute of Atomic Energy, Beijing 102413, China) (Centen for Space Science and Application Reseach, The Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China)

【机构】 中国原子能科学研究院核物理所中国科学院空间科学与应用研究中心

【摘要】 介绍一种实验确定微电子器件单粒子翻转(SEU)灵敏体积(Sv)厚度d的方法.用从低到高不同能量的重离子辐照微电子器件,测量其SEU截面随离子射程的变化曲线σseu(r),用数学计算从σseu(r)和LET(r)函数提取d.利用测得的d和σseu(LET),经过模型计算可得到更精确的空间SEU率的预言值.

【Abstract】 A method of experimental determination of the sensitive volume(Sv)thickness d of microelectronic devices is presented. It is based upon the deconvolution of the functions of heavy ion upset cross sections versus the range of the incidentions σseu(r) , measured by varying the ion energy, and LET (r) . The measured σseu(LET) and d can be used for accurate prediction of the rate of Single Event Effects (SEE) in space.

【关键词】 单粒子效应灵敏体积重离子
【Key words】 single event effectssensitive volumeheavy ion
【基金】 国家自然科学基金(10375098)资助~~
  • 【会议录名称】 第十次全国核结构研讨会论文集
  • 【会议名称】第十次全国核结构研讨会
  • 【会议时间】2004-07
  • 【会议地点】中国贵州花溪
  • 【分类号】O571
  • 【主办单位】中国核物理学会核结构专业委员会、北京大学、贵州民族学院
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