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反应溅射(Al,Ti)(O,N)涂层的微结构与力学性能
【机构】 上海工具厂有限公司； 上海交通大学材料学院；
【摘要】 采用Al-Ti镶嵌复合靶在Ar、N2和O2混合气体中反应溅射制备了一系列(Al,Ti)(O,N)涂层。并采用:EDS、XRD、AFM、TEM和微力学探针研究了薄膜的化学成分、微结构和力学性能。结果表明,随氧分压的提高,涂层中氧含量逐步增加,氮含量相应减少,(Al+Ti):(O+N)的化学计量比仍约为1:1,涂层保持与(Al,Ti)N涂层相同的NaCl结构。随着氧含量的提高,涂层生长的择优取向发生改变,高氧含量薄膜样品呈现强烈(200)织构的柱状晶。与此同时,(Al,Ti)(O,N)涂层的硬度也仍保持在与(Al,Ti)N涂层相当的35GPa的高值。由于涂层中形成了相当含量的氧化物,这类涂层的抗氧化能力有望得到提高。
【关键词】 反应溅射；
(Al,Ti)(O,N)复合涂层；
微结构；
力学性能；
- 【会议录名称】 第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集
- 【会议名称】第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
- 【会议时间】2006-08
- 【会议地点】中国甘肃兰州
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国机械工程学会表面工程分会