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制作微器件的超声电解复合微细加工试验研究
【机构】 扬州大学机械工程学院； 南京航空航天大学机电学院；
【摘要】 提出一种制造MEMS微器件的新技术——超声电解复合微细加工;构造超声电解复合微细加工试验系统, 设计微细加工工具电极,进行一系列微细加工基础工艺试验,验证超声-电解复合加工技术在微器件加工中的可行性;展示了此项技术在提高微细加工精度、效率等方面的优势;研究成果对拓展超声电解复合微细加工技术的应用、完善MEMS器件制作技术具有重要理论意义与实用价值。
【基金】 中国博士后基金(2003034382)江苏省教育厅自然科学基金(02KJB460009)资助项目。
- 【会议录名称】 2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑
- 【会议名称】2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议
- 【会议时间】2005-11
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】TG661
- 【主办单位】中国机械工程学会特种加工分会