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类金刚石膜的性能及在工模具上的应用
【机构】 广州有色金属研究院;
【摘要】 综述了物理气相沉积(PVD)技术制备的类金刚石膜和掺杂金属的类金刚石膜的性能以及在工模具上的应用情况。
- 【会议录名称】 2005年中国机械工程学会年会论文集
- 【会议名称】2005年中国机械工程学会年会
- 【会议时间】2005-11
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国机械工程学会、重庆市机械工程学会
【机构】 广州有色金属研究院;
【摘要】 综述了物理气相沉积(PVD)技术制备的类金刚石膜和掺杂金属的类金刚石膜的性能以及在工模具上的应用情况。