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CMOS电路与大量程流量计的单片集成
On-chip Integration of CMOS IC and Mass Flow Meter
【Author】 Zhao Tao Zhang Dacheng Wang Xiaobao Peking University, Beijing, 100871
【机构】 北京大学；
【摘要】 在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上。测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作。
【Abstract】 Based on CMOS standard process and classical process of piezoresistive devices, by combining the two process steps, piezoresistive devices represented by a mass flow meter and relevant conditioning circuit were integrated on a single chip. Test results show that the device characteristics of the CMOS and closed -loop characteristics of the amplifier circuit accord with the design.
【基金】 国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404220);国家自然科学基金资助项目(90207013)
- 【会议录名称】 中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）
- 【会议名称】中国微米、纳米技术第七届学术会年会
- 【会议时间】2005-08
- 【会议地点】中国大连
- 【分类号】TN432
- 【主办单位】中国机械工程学会