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用于边界层分离点检测的微型压力传感器阵列研究
Micro Pressure Sensor Array Used to Detect Boundary-Layer Separation Point
【Author】 Chen Shuang Zhu Mingquan Deng Jinjun Ma Binghe Jiang Chengyu Northwestern Polytechnical University, Xi’an,710072
【机构】 西北工业大学；
【摘要】 基于边界层流动与分离的特性,探讨了根据表面压力分布变化,检测物体表面边界层分离点的测量方法。根据边界层分离点测量的特点,给出了一种基于柔性衬底的微型压力传感器阵列的结构设计,并对背引线技术进行了初步研究。设计的微型压力传感器阵列可有效满足边界层分离点的检测要求,进一步拓展了MEMS器件的工程应用范围。
【Abstract】 This paper discussed a measuring method of boundary -layer separation point which based on the change of surface static pressure distribution, and proposed a design of flexible substrate based micro pressure sensor array. This array can achieve real -time online measuring of non -planar surface. This design proposal of micro pressure sensor array can effectively meeting the measuring requirement of boundary - layer separation point, and expand engineering applied scope of MEMS devices.
【Key words】 boundary layer； separation point； surface pressure distribution； micro pressure sensor array； flexible substrate； backside wire bonding；
- 【会议录名称】 中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）
- 【会议名称】中国微米、纳米技术第七届学术会年会
- 【会议时间】2005-08
- 【会议地点】中国大连
- 【分类号】TP212
- 【主办单位】中国机械工程学会