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钼基表面化学气相沉积钨涂层性能的研究

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【作者】 杜继红李争显刘高建周慧黄春良

【机构】 西北有色金属研究院

【摘要】 研究CVD钨涂层的表面形貌和结构、断面性能、涂层的抗热震性能及高温扩散性能。结果显示:钨涂层与基体有2微米左右的扩散层,属于冶金结合且钼在钨中的扩散速度更高;涂层在室温-1400℃-室温进行20次后涂层不脱落、界面没有明显变化,涂层结合力好;涂层界面上的杂质元索氧、碳等影响涂层的结合性能。

【关键词】 CVD钨涂层性能
  • 【会议录名称】 第五届全国表面工程学术会议论文集
  • 【会议名称】第五届全国表面工程学术会议
  • 【会议时间】2004-04
  • 【会议地点】中国西安
  • 【分类号】TG174
  • 【主办单位】中国机械工程学会表面工程分会
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