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Ti6Al4V合金等离子体基离子注氧层XPS研究
【机构】 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院；
【摘要】 本文用等离子体基离子注氧技术(O-PBH)对Ti6Al4V合金进行了表面改性处理,试验过程中改变注入离子能量的工艺参数,负脉冲偏压分别为-10kV和-20kV,离子注入过程中样品台通油冷却以实现低温注入。用XPS对离子注氧层的深度、成分及化学结构进行了系统的分析。结果显示,随着注入离子能量的增加,Ti6Al4V合金表面改性层的深度明显增加,改性层的外层由一定厚度的TiO2组成,外层与内层基体之间为TiOx层。Al元素在改性层的外层以氧化物形式存在,且该氧化物趋于表面生长。在表面改性层的外层未发现V及其氧化物。
- 【会议录名称】 第五届全国表面工程学术会议论文集
- 【会议名称】第五届全国表面工程学术会议
- 【会议时间】2004-04
- 【会议地点】中国西安
- 【分类号】TG174.444
- 【主办单位】中国机械工程学会表面工程分会