圆筒内表面等离子体浸没离子注入实验研究

【作者】 王小峰； 张时铭； 汤宝寅； 王浪平； 甘孔银； 刘洪喜； 于永澔； 王宇航； 王松雁；

【机构】 哈尔滨工业大学材料学院现代焊接生产技术国家重点实验室；

【摘要】 圆筒内表面离子注入处理一直被认为是一个难题,近年来,随着等离子体浸没离子注入技术的发展,这一难题可能被解决。本文采用栅网增强沉积方法在圆筒内表面注入与沉积TiN薄膜,以提高圆筒内表面抗磨耐蚀特性:文中研究了溅射电压对沉积薄膜均匀性的影响,以及采用单一溅射沉积、或单一离子注入、或溅射沉积+离子反冲注入处理工艺对沉积薄膜的影响。结果表明:栅网增强沉积方法可以在圆筒内表面形成均匀性较好的TiN薄膜,显著地提高了放置在圆筒内表面上样品表面的耐磨性和显微硬度;和单一溅射沉积或单一离子注入表面改性方法相比较,溅射沉积+离子反冲注入相结合的处理工艺可获得更好的表面强化处理效果。更多还原