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纳米隧道结的SPM加工方法研究
【作者】 刘庆纲； 匡登峰； 李源； 郭维廉； 张世林； 胡小唐；
【机构】 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室； 天津大学；
【摘要】 利用扫描探针显微镜诱导氧化加工金属纳米氧化线,可以构成金属-绝缘体-金属纳米级隧道结,进而可以在其基础上加工半导体纳米器件。由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度、诱导偏置电压、加工速度等对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用,试验研究了上述加工参数对在绝缘体表面加工金属氧化线结果的影响,得到了相对湿度30%、扫描速度8μm/s等比较理想的加工参数和加工结果。
【基金】 教育部天津大学南开大学共建项目;天津市自然基金(013602111)
- 【会议录名称】 全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集（微纳制造技术应用专题）
- 【会议名称】微纳制造技术应用研讨会
- 【会议时间】2003
- 【分类号】TH742
- 【主办单位】中国机械工程学会