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脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用
【机构】 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室；
【摘要】 阐述脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构井具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处。阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术、以及MEMS的激光辅助操控及装配技术。
【基金】 国家高技术研究发展专项基金(2002AA4040907);教育部留学回国人员科研启动基金
- 【会议录名称】 全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集（微纳制造技术应用专题）
- 【会议名称】微纳制造技术应用研讨会
- 【会议时间】2003
- 【分类号】TG665
- 【主办单位】中国机械工程学会