节点文献
飞秒激光微纳米加工技术
【机构】 大津大学精密仪器与光电子工程学院；
【摘要】 综述了飞秒激光的特点,利用飞秒激光进行微细加工的原理及其特色,飞秒激光加工的类型,及其在微电子学、微光学和微机械学中的应用,并介绍了天津大学超快激光实验室在飞秒激光微纳加工研究中取得的一些进展。
- 【会议录名称】 全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集（微纳制造技术应用专题）
- 【会议名称】微纳制造技术应用研讨会
- 【会议时间】2003
- 【分类号】TG665
- 【主办单位】中国机械工程学会