激光多普勒效应在MEMS运动测量中的应用研究

【作者】 杜振辉； 蒋诚志； 谢艳； 钟莹； 张国雄； 陶知非；

【机构】 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室； 天津大学； 石油地球物理勘探局；

【摘要】 微电子机械系统MEMS中通常包含有可动构件(膜、梁、梳、面、弹簧等),研究其承受压力、弯曲等机械及热负荷性能的重要方法是测量其在各种条件下的运动量(振动、位移等)。提出一种MEMS构件微小振动、位移测量系统。采用外差法激光多普勒技术,通过对信号的频谱分析,确定了信号处理单元的适宜频带宽度。以锁相环频率跟踪器解决多普勒信号脱落、信噪比低等问题。对调相多普勒跟踪信号进行频率/电压转换,可以实时地得到被测的速度、位移、加速度、频率等参量。实现测量分辨力20nm。更多还原