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制备多晶硅薄膜的晶化方法
【作者】 张宇翔； 冯团辉； 杨仕娥； 陈永生； 李瑞； 郭敏；
【机构】 郑州大学物理工程学院；
【摘要】 该文概述了目前世界上常用的利用晶化技术制备多晶硅薄膜的方法,这些技术包括直接固相晶化和激光晶化等,并讨论了它们各自的特点。
- 【会议录名称】 2004年中国生物质能技术与可持续发展研讨会论文集
- 【会议名称】2004年中国生物质能技术与可持续发展研讨会
- 【会议时间】2004-08
- 【分类号】TM914
- 【主办单位】太阳能学会生物质能专业委员会、中国生物质技术开发中心、中国科学院广州能源研究所、河南省科学院能源研究所、河南农业大学、河南焦作秸杆燃气公司