【作者】 杨红； 庞宏； 文光俊；

【Author】 Yang Hong Pang Hong Wen Guangjun (RFIC Lab., School of Communication and Information Engineering, UESTC, Chengdu 610054)

【机构】 电子科技大学通信与信息工程学院RFIC研究室；

【摘要】 本文根据超深亚微米级硅基螺旋电感器的物理特性,利用全电磁波仿真程序模拟出硅基螺旋电感器的射频特性参量,在此基础上提出了一种高精度的硅基螺旋电感器等效电路模型,将射频特性拟合到等效电路中抽取出其元件参数值。在硅基螺旋电感器的自谐振频率以下,其全电磁波仿真的射频特性与等效电路模型的仿真值之误差均小于3%,二者具有很好的吻合度。更多还原

【Abstract】 Based on the physical characteristics of deep sub-micro level Si-based spiral inductor and using the full EM simulation to simulate its RF characteristics, in this paper, a high-accuracy equivalent circuit model of spiral inductors using Si substrates is presented. The comparison of measurements of RF characteristics and the simulation results of their equivalent circuits is also given.更多还原