【作者】 孙东明； 董玮； 刘彩霞； 王国东； 陈维友；

【机构】 集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区；

【摘要】 本文从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下 pull-in现象的产生条件并给出公式化结果,讨论了器件的几何结构参数对于pull-in 现象的影响,并对具体结构的器件给出了pull-in角度和pull-in电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pull-in角度为悬臂梁最大扭转角度的44．04％,且与扭臂的结构参数无关。更多还原

【Abstract】 This paper presents a model of a micro-actuator with torsion beam, and the analytical formulae are derived for analysis of pull-in phenomena. The effect of the structural parameters on pull-in phenomena is discussed, and analytical results areGiven for the certain device. The ratio of pull-in angle to the maximum travel angle is 44. 04% , and which is not correlative with the parameters of torsion beam.更多还原